加濕可防止因空氣相對濕度太低而產(chǎn)生的靜電現(xiàn)象，此靜電可能導(dǎo)致生產(chǎn)設(shè)備當(dāng)機(jī)及產(chǎn)品不良率升高。電子廠、半導(dǎo)體廠及線路板等無塵室一般控制在恒溫22℃左右，所以需要常年空調(diào)及溫濕度控制以防靜電、冷凝結(jié)露、腐蝕、纖維破裂及工作人員不適感。由于相對濕度在60%以上，會有腐蝕現(xiàn)象；而在40%以下則會有靜電現(xiàn)象。所以通常零件在進(jìn)入無塵室前，需要保持在特定溫濕度環(huán)境里，以防止進(jìn)入無塵室內(nèi)由于溫差造成冷凝結(jié)露讓零件受潮損壞；或產(chǎn)生靜電易使灰塵雜質(zhì)附著在零件上影響質(zhì)量功能。