產(chǎn)品由來

近年來隨著電子工業(yè)電路制造之線寬不斷的縮小達(dá)到納米的等級(jí)，并由于區(qū)域建廠密度極高導(dǎo)致各廠排氣交叉污染效應(yīng)，對(duì)于制程環(huán)境污染的關(guān)切已由原來的粒狀固體污染物變?yōu)闅鈶B(tài)分子污染物（AMC）,例如SOx、NOx、CO、NH?、HCL及其它的有機(jī)污染物。無塵室本身產(chǎn)生的AMC可由風(fēng)機(jī)過濾器（FFU）上的化學(xué)過濾器去除，但外氣部分則必須靠MAU化學(xué)過濾器或水洗式加濕系統(tǒng)加以清除。由于化學(xué)過濾器效率雖高但成本昂貴，且與外氣處理量成正比，此外，當(dāng)外氣含微粒濃度高或濕度較大時(shí)會(huì)減短其使用壽命，故一直以來未被電子行業(yè)廣為采用。而作為良好的氣體吸收液且廉價(jià)的水便成為去除AMC的最佳方式。加之水洗式加濕系統(tǒng)在冷卻空氣、溫度調(diào)節(jié)方面有一定成效。故水洗式加濕系統(tǒng)逐漸成為當(dāng)前電子工業(yè)去除化學(xué)污染物的主流。

工作原理

以水為介質(zhì)，經(jīng)泵浦加壓，由特制的噴嘴將水細(xì)化成一定直徑范圍內(nèi)的水顆粒，與流動(dòng)的空氣撞擊、混合、熱質(zhì)傳、溶解等作用，使空氣中的AMC、VOC、Particle從空氣中分離，從而起到洗滌空氣的作用。加濕僅為此項(xiàng)產(chǎn)品的附屬功能。

三種基本型式

(1) 噴淋式：外氣經(jīng)過勻流板均勻風(fēng)量后，再通過成網(wǎng)狀布陣的噴嘴所噴出之水霧簾幕來提高空氣相對(duì)濕度，最后再經(jīng)過一道擋水板過濾雜質(zhì)和排除水珠，處理過后的空氣才由出口送出。須有循環(huán)水泵將水箱和噴嘴間的水做循環(huán)性運(yùn)用，水位不夠時(shí)自動(dòng)補(bǔ)水。如：水洗式加濕系統(tǒng)。

(2) 噴霧式：將噴嘴平均分布，利用高壓水經(jīng)噴嘴霧化成較小之水珠，易于與空氣接觸，因而提高空氣含水率。如高壓微霧加濕系統(tǒng)與擋水板的組合模式。

(3) 細(xì)胞式：如：帶有水箱的濕膜循環(huán)水模式。

功能

水洗式加濕系統(tǒng)主要功能是過濾及凈化空氣。冷卻、加濕僅為其附屬功能。

使用條件

(1) 環(huán)境溫度：4℃~45℃

(2) 環(huán)境濕度：≤85%RH

(3) 使用水質(zhì)：清潔自來水、軟化水、PH值6-7。

(4) 給水壓力：0.2-0.6Mpa

(5) 給水溫度：4℃-45℃

(6) 氣流風(fēng)速：0.5-3.5m/s

(7) 進(jìn)風(fēng)溫度：4℃-65℃

主要用途

(1) 空氣洗滌、靜電消除：晶圓場(chǎng)、光電廠、化學(xué)工業(yè)、石化廠、化纖廠、電子廠、核電等。

(2) 農(nóng)業(yè)栽培：溫室、接種室、殺菌室等。

(3) 干燥加濕：醫(yī)院、紡織廠、印刷廠、食品加工廠等。

產(chǎn)品組件

(1) 水洗式加濕系統(tǒng)主要安裝于新風(fēng)空調(diào)箱、組合式空調(diào)箱使用。主要由循環(huán)水箱、加壓水泵、噴嘴及管路系統(tǒng)、勻流板、擋水板和控制系統(tǒng)組成。

(2) 循環(huán)水箱采用不銹鋼制成，內(nèi)有循環(huán)管路、自動(dòng)進(jìn)水及強(qiáng)制進(jìn)水裝置、循環(huán)水泵過濾裝置、自動(dòng)溢水裝置、高低水位檢測(cè)裝置和水箱沖洗裝置。

(3) 噴嘴及管路系統(tǒng)可采用單排噴霧、雙排噴霧、三排噴霧。噴霧數(shù)量根據(jù)水洗量的要求來決定。

(4) 控制系統(tǒng)含液晶顯示操作器（選配）、水位檢測(cè)系統(tǒng)、給水系統(tǒng)、PH值控制自動(dòng)清洗系統(tǒng)、自動(dòng)給水系統(tǒng)與水泵運(yùn)行保護(hù)控制系統(tǒng)。

(5) 勻流板和擋水板可采用ABS或者PPS，也可采用經(jīng)過沖孔處理的鋁合金材料和不銹鋼材料。

優(yōu)缺點(diǎn)及注意事項(xiàng)

1、需要有專業(yè)及豐富經(jīng)驗(yàn)之員工來操作運(yùn)轉(zhuǎn)。

2、若使用在接近冰點(diǎn)氣候環(huán)境，須有防結(jié)冰保護(hù)設(shè)備。

3、機(jī)臺(tái)占領(lǐng)空間不大，但可處理大量空氣加濕作業(yè)。

4、補(bǔ)給水雖循環(huán)使用，但換水頻率要求亦高，以防空氣過于污濁，應(yīng)考量水源是否充足及水費(fèi)成本是否過高等問題。

5、可作精確控制，但須加裝整合性佳之控制系統(tǒng)，所費(fèi)不貸。

6、若有廢熱氣供以利用，可節(jié)省相當(dāng)多之能源費(fèi)用。

7、多灰塵及臟空氣須先過濾后再作加濕程序。

8、機(jī)臺(tái)內(nèi)可能生苔蘚及細(xì)菌，需經(jīng)常保養(yǎng)維修及作氯氣消毒處理。

9、風(fēng)車之馬力需求較一般大很多。